橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器。由于測量精度高，適用于超薄膜，與樣品非接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種JI具吸引力的測量儀器。 發展歷史：
早期的橢偏研究主要集中于偏振光及偏振光與材料相互作用的物理學研究以及儀器的光學研究。計算機的發展和應用使橢偏數據的擬合分析變得容易，促使橢偏儀在更多的領域得到應用。硬件的自動化和軟件的成熟大大提高了運算的速度，成熟的軟件提供了解決問題的新方法，因此，橢偏儀已被廣泛應用于材料、物理、化學、生物、醫藥等領域的研究、開發和制造過程中。
種類：
橢偏儀 全自動光譜橢偏儀 成像橢偏儀（成像橢圓偏振技術）激光單波長橢偏儀……
光譜范圍
最初，橢偏儀的工作波長多為單一波長或少數獨立的波長，最典型的是采用激光或對電弧等強光譜光進行濾光產生的單色光源。大多數的橢偏儀在很寬的波長范圍內以多波長工作（通常有幾百個波長，接近連續）。和單波長的橢偏儀相比，光譜型橢偏儀有下面的優點：可以提升多層探測能力，可以測試物質對不同波長光波的折射率等。
橢偏儀的光譜范圍在深紫外的142nm到紅外33um可選。光譜范圍的選擇取決于被測材料的屬性、薄膜厚度及關心的光譜段等因素。例如，摻雜濃度對材料紅外光學屬性有很大的影響，因此需要能測量紅外波段的橢偏儀；薄膜的厚度測量需要光能穿透這薄膜，到達基底，然后并被探測器檢測到，因此需要選用該待測材料透明或部分透明的光譜段；對于厚的薄膜選取長波長更有利于測量。
