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    橢偏儀的選型指南

    發布時間:2022-07-07      點擊次數:28
       早期的橢偏研究主要集中于偏振光及偏振光與材料相互作用的物理學研究以及儀器的光學研究。計算機的發展和應用使橢偏數據的擬合分析變得容易,促使橢偏儀在更多的領域得到應用。硬件的自動化和軟件的成熟大大提高了運算的速度,成熟的軟件提供了解決問題的新方法,因此,橢偏儀已被廣泛應用于材料、物理、化學、生物、醫藥等領域的研究、開發和制造過程中。
      橢偏儀的選型指南:
      1、根據研究或測試的材料特性來確定光譜范圍,進一步選擇適合光源的橢偏儀。對于透明材料,考慮關心的折射率光譜區域;對于短波吸收、長波透明材料,如果關心吸收區域折射率及膜厚可擴展到紅外透明區域來先確定薄膜厚度,然后求解折射率。
      光源橢偏儀的理想光源是強度穩定,從紫外到近紅外整個波長范圍內輸出近似為常數,目前大多選用氦或Hg。氦燈是比較合理的,但是它在uv(低于260nm)強度較弱,而在880~1010nm具有很強的原子輻射譜線。也有采用激光作為光源(HeNe),進行單色橢偏測量。
      2、入射角方式選擇。多角度測量增加可靠性,但不是總有必要。多角度適用于以下幾種場合:多層膜結構、吸收膜、各項異性膜、光學常數沿厚度梯度分布的膜等。
      3、考慮測量準確性與重度性。儀器重復性定義為儀器多次測量的結果的比較,比較容易定義與比較。一般的測準確性時將空氣作為標準樣品(沒有其他理想的標準樣品)。
      4、比較分析軟件。橢偏測量是一種非直接測量模式,數據需要擬合分析得來,所以分析軟件的好壞將直接影響到分析結果。




     
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